多晶硅生产用氢气纯度检测

检测项目

1.纯度测定：高纯氢气总体体积分数检测，基础纯度含量验证

2.微量水分检测：痕量水分分析，露点测定，游离水含量分析

3.微量氧气检测：痕量氧气分析，溶解氧测定，游离态氧气含量检测

4.微量氮气检测：痕量氮气分析，惰性气体杂质检测，气相混合氮测定

5.一氧化碳检测：微量一氧化碳测定，碳氧化物杂质分析，气态碳素污染检测

6.二氧化碳检测：微量二氧化碳分析，碳酸气含量测定，酸性气体杂质检测

7.碳氢化合物检测：微量甲烷分析，总碳氢化合物检测，有机气体杂质测定

8.氯化氢含量检测：微量氯化氢分析，酸性卤族气体杂质测定，含氯化合物检测

9.氯硅烷类杂质检测：二氯硅烷含量测定，三氯硅烷含量测定，四氯化硅残留分析

10.金属杂质检测：气态金属微粒含量分析，痕量金属元素测定，气相金属污染测试

11.尘埃颗粒物检测：气溶胶颗粒物分析，微米级固态颗粒计数，气态悬浮粉尘测定

检测范围

多晶硅沉积用氢气、还原炉用高纯氢气、氯硅烷氢化用氢气、尾气回收净化氢气、硅烷热解用辅助氢气、多晶硅生产充装瓶装氢气、管道输送纯净氢气、制氢站液态氢气化气体、半导体级超纯氢气、光伏级多晶硅生产用辅助氢气、多晶硅洗涤塔吹扫用氢气、多晶硅反应器置换用氢气

检测设备

1.气相色谱仪：用于分离并精准测定氢气中微量的氮气、一氧化碳、二氧化碳及碳氢化合物等气体杂质的含量。

2.光腔衰荡光谱仪：利用极高灵敏度的光谱吸收技术，专门用于检测氢气中极其微量的水分及氧气等杂质。

3.电化学微量氧分析仪：通过电化学传感器原理，对气体样品中的微量游离态氧气进行实时在线或离线定量检测。

4.阻容式露点仪：通过感湿电容技术测量气体中水分变化，计算并检测高纯气体中极微量的水分含量与湿度状态。

5.非色散红外气体分析仪：利用红外光线吸收特性，快速且连续地测定气体样品中的一氧化碳与二氧化碳等特定分子的浓度。

6.氢火焰离子化检测器：利用化学电离技术，专门用于高灵敏度测定纯净氢气中微量甲烷及其他气态碳氢化合物的总量。

7.光散射微粒计数器：利用激光散射原理，对管路中高纯气体携带的微米至亚微米级别固态尘埃颗粒进行数量统计与粒径分析。

8.离子色谱仪：结合气体吸收与液相转化装置，对气体样品中极其微量的酸根离子及卤素化合物进行精准洗脱与测定。

9.高频电感耦合等离子体发射光谱仪：结合专门的气体进样系统，用于检测气态样品中极其微量的各类金属元素与非金属元素污染。

10.重量法气体发生与校准系统：用于提供高精度的基准混合气体，确保所有分析仪器在极低浓度区间的检测准确性与数据可靠性。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.